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產品名稱:

進口光學平臺

更新時間:2019-01-30

產品型號:
美國TMC進口光學平臺成立于1969年,是專門生產振動隔離系統的廠家。TMC領導了世界振動隔離系統*先進的設計理念,至今仍保持多項技術。
  • 詳細內容

進口光學平臺

TMC主動隔振系統STACIS® III

STACIS初設計用于隔離先進半導體工廠中的精密微平版印刷,計量和檢測設備,現在是噪聲環境中敏感儀器的行業標準解決方案,包括但不限于半導體工廠,故障分析實驗室,納米技術研究,納米制造設施和材料研究。

STACIS III包括一個新的和改進的數字控制器,DC-2020。新的雙核處理器和以太網以及前后面板上的USB串行端口,這個新的先進的控制系統為用戶提供了一個現代的,易于使用的圖形用戶界面(GUI)。通過數百個成功安裝,STACIS是振動敏感度高的儀器的理想振動消除系統。

特征及優點:

  • 新改進型DC-2020數字控制器,提供易于使用的圖形用戶界面
  • 隔振開始于0.6Hz,1Hz時達到40%至70%的隔離率
  • 頻率2赫茲和更高時,垂直和水平隔振率大于90%
  • 降低基礎設施的要求和建設成本,即使有較大外界震動設備也可正常運行
  • 有效隔振范圍,0.6Hz到150Hz
  • 獲得眾多用戶的廣泛認可和肯定
  • 6向自由度硬安裝設計,無需空氣懸架
  • 強大的控制系統無需定期重新校準
  • point-of-use設計方案,與客戶現有隔振系統無縫兼容
  • 隨著外部環境改變,系統自動調節以適應不同外部震動情形
  • TMC的STACIS®技術使用壓電執行器主動消振
  • 數字控制器與基于PC的圖形用戶界面(GUI)
  • 提高客戶產品產量、質量、成品率。
  • 符合RoHS標準
  • 寬的主動隔振帶寬,的低頻隔振效果
  • 亞赫茲的主動震動消除,主要在0.6-6Hz頻段內的隔振
  • 可堆疊式設計
  • 主動硬式安裝結構、而非軟式懸浮、無低頻漂移、主動元件與剛性彈簧相連
  • 被動彈簧濾除了來自STACIS傳感器的負載諧振,需要的調諧非常少,甚至無需調諧
  • 由于阻抗不匹配,可兼容儀器內部隔離器
  • 負載可達2000kg

STACIS® III性能規格:

Active degrees of freedom

6

Active bandwidth

0.6 Hz - 150 Hz

Passive natural frequency

18 Hz vertical and horizontal

Effective active resonant frequency

0.5 Hz

Isolation at 1 Hz

40% - 70%

Isolation at ≥2 Hz

≥90%

Settling time after a 10 lb (4.5 kg) step input (10:1 reduction)

0.3 sec

Internal noise

0.1 nm RMS

Operating load range per isolator

Low capacity: 400-1100 lbs (181-499 kg)
Med capacity: 900-2100 lbs (408-953 kg)
Hi capacity: 1900-4500 lbs (862-2041 kg)

Static lift capacity per isolator

9000 lbs (4090 kg)

Stiffness (1000 lb / 454 kg mass, Med capacity isolator)

40,000 lb/in. (73 x 105N/m)

Magnetic field emitted at maximum 4 in.(102 mm) from the isolator

 0.02 μG broadband RMS

STACIS® III用戶及應用領域:

1、微電子、半導體

  • 晶片檢測
  • 顯微光刻技術
  • 掩膜校準

2、科學研究、納米技術

  • SEM、TEM
  • STEM、SPM

3、激光臺

  • 生命科學、藥物研發

4、工業應用

  • 精密加工

為什么要選擇主動系統?

  • 1Hz開始強烈消除地面震動,氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振
  • 提高質量、生產量
  • 更加細小特色的成像能力
  • 前沿研究
  • 比氣動平臺更穩定
  • 滿足SEM標準地點安裝參數的wei一解決方案
  • 使得新實驗室及研究設備的工程造價更低

主動系統為何選擇STACIS

  • 正中了科研者的的心聲,提供了盡可能的無震環境。
  • 市場上強勁的低頻隔振系統。
  • 目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數要求,其需要的震動參數需要主動隔振設備才能滿足。
  • STACIS發明于1990s,經TMC進一步發展,開發和安裝了數以千計的主動隔振設備,這是主動隔振控制領域的提供的可靠解決方案。

STACIS相比氣動隔離器剛性大幾百倍

穩定時間作為對擾動的響應,由于獨特的串聯式設計,而大大縮短,理想應用于機械制造、動態負載、激光或者光源需要安裝的獨立剛性臺面的情況下。

如下優勢在業內都是的

  • STACIS的主動隔振帶寬為0.6Hz -150Hz
  • 6個自由度的主動震動消除,在1Hz時隔振8-10dB 
  • 從2-3Hz時,隔振可達90% (20dB) 

性能曲線

4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

 

進口光學平臺 超凈間790系列

ClassOne 790 Series for Cleanrooms

ClassOne™CleanTop®光學平臺是為了將傳統的CleanTop平臺用于超凈間所做的擴展。共有兩種阻尼可選:大阻尼和標準阻尼。如果需要,不銹鋼CleanTop“杯”結構也可供選擇。

特點

  • 5mm厚的平臺頂板
  • 兩個固定等級阻尼
  • CleanTop獨立尼龍杯,每一個螺紋孔下面都是密封的
  • 不銹鋼結構頂板、底板和側壁
  • 適用于超凈間的設計和包裝 

規格

Core

Sl honeycomb,closed-cell,0.010 in. thick foil

鋼制蜂窩封閉孔,0.010英寸厚的鋁箔

Core shear modulus

275,000 psi

Core cell size

<0.5 in.²

Core density

13.3 lbs/ft³(230kg/m³)

Flatness

±0.005 in.(0.13mm)

Top and botton skins

430 series ferromagnetic stainless steel

430系列鐵磁不銹鋼

Sidewalls

Stainless steel with damped interior surface

不銹鋼與內部減震表面

Tapped holes

Backed by 1 in. (25mm)

Long nylon(optional stainless steel 304alloy)cups

使用25mm長尼龍杯(或304不銹鋼杯)

 

Surface Dimensions

8"
Thick Tops
(200 mm)

12"
Thick Tops
(300 mm)

18"
Thick Tops
(450 mm)

24"
Thick Tops
(600 mm)

in.

ft.

m

  30 x 60
maximum dry damping

  

  0.75 x 1.5
maximum dry damping

  794-432

  794-632

  

  

  30 x 72
maximum dry damping

  

  0.75 x 1.8
maximum dry damping

  794-491

  794-691

  

  

  30 x 96
maximum dry damping

  

  0.75 x 2.4
maximum dry damping

  794-492

  794-692

  

  

  30 x 120
maximum dry damping

  

  0.75 x 3.0
maximum dry damping

  794-493

  794-693

  

  

  36 x 60
maximum dry damping

  3 x 5
maximum dry damping

  0.9 x 1.5
maximum dry damping

  794-436

  794-636

  

  

  36 x 72
maximum dry damping

  3 x 6
maximum dry damping

  0.9 x 1.8
maximum dry damping

  794-439

  794-639

  

  

  36 x 96
maximum dry damping

  3 x 8
maximum dry damping

  0.9 x 2.4
maximum dry damping

  794-440

  794-640

  794-740

  794-840

  36 x 120
maximum dry damping

 3 x 10 
maximum dry damping  

  0.9 x 3.0
maximum dry damping

  794-494

  794-694

  794-794

  794-894

  40 x 60
maximum dry damping

  

  1.0 x 1.5
maximum dry damping

  794-443

  794-643

  

  

  40 x 80
maximum dry damping

  

  1.0 x 2.0
maximum dry damping

  794-444

  794-644

  794-744

  794-844

  40 x 120
maximum dry damping

  

  1.0 x 3.0
maximum dry damping

  794-445

  794-645

  794-745

  794-845

  48 x 48
maximum dry damping

  4 x 4
maximum dry damping

  1.2 x 1.2
maximum dry damping

  794-447

  794-647

  

  

  48 x 60
maximum dry damping

  4 x 5
maximum dry damping

  1.2 x 1.5
maximum dry damping

  794-449

  794-649

  

  

  48 x 72
maximum dry damping

  4 x 6
maximum dry damping

  1.2 x 1.8
maximum dry damping

  794-451

  794-651

  794-751

  794-851

  48 x 96
maximum dry damping

  4 x 8
maximum dry damping

  1.2 x 2.4
maximum dry damping

  794-455

  794-655

  794-755

  794-855

  48 x 120
maximum dry damping

  4 x 10
maximum dry damping

  1.2 x 3.0
maximum dry damping

  794-459

  794-659

  794-759

  794-859

  48 x 144
maximum dry damping

  4 x 12
maximum dry damping

  1.2 X 3.6
maximum dry damping

  794-463

  794-663

  794-763

  794-863

  48 x 168
maximum dry damping

  4 x 14
maximum dry damping

  1.2 x 4.2
maximum dry damping

  794-465

  794-665

  794-765

  794-865

  48 x 192
maximum dry damping

  4 x 16
maximum dry damping

  1.2 x 4.8
maximum dry damping

  794-467

  794-667

  794-767

  794-867

  60 x 60
maximum dry damping

  5 x 5
maximum dry damping

  1.5 x 1.5
maximum dry damping

  794-470

  794-670

  794-770

  794-870

  60 x 72
maximum dry damping

  5 x 6
maximum dry damping

  1.5 x 1.8
maximum dry damping

  794-471

  794-671

  794-771

  794-871

  60 x 80
maximum dry damping

  

  1.5 x 2.0
maximum dry damping

  794-472

  794-672

  794-772

  794-872

  60 x 96
maximum dry damping

  5 x 8
maximum dry damping

  1.5 x 2.4
maximum dry damping

  794-473

  794-673

  794-773

  794-873

  60 x 120
maximum dry damping

  5 x 10
maximum dry damping

  1.5 x 3.0
maximum dry damping

  794-475

  794-675

  794-775

  794-875

  60 x 144
maximum dry damping

  5 x 12
maximum dry damping

  1.5 x 3.6
maximum dry damping

  794-476

  794-676

  794-776

  794-876

  60 x 168
maximum dry damping

  5 x 14
maximum dry damping

  1.5 x 4.2
maximum dry damping

  794-477

  794-677

  794-777

  794-877

 60 x 192
maximum dry damping

 5 x 16
maximum dry damping

  1.5 x 4.8
maximum dry damping

  794-478

  794-678

  794-778

  794-878

Weight Factor(WF) (approx.);
Area x WF = Total Weight

 

0.255 lb/in.2
(0.016 kg/cm2

0.265 lb/in.2
(0.019 kg/cm2)

0.420 lb/in.2
(0.030 kg/cm2)

0.475 lb/in.2
(0.033 kg/cm2)

 

主動隔振基座SEM-Base® VI

用于SEM的主動式壓電陶瓷振動消除地面式隔振基座-非氣浮式系統

SEM-Base® VI是TMC STACIS主動壓電振動消除產品系列的新一代產品。SEM- Base®  VI設計用于承載所有商業掃描電子顯微鏡(SEMs)、多數聚焦離子來顯微 鏡(FIB)及小型雙尤來設備。SEM-Base® VI可以提供升級版的振動隔離性能及更快更強勁的控制器,帶有圖形用戶界面(GUI)。SEM-Base VI讓越來越多的實驗室、工廠可以實現能夠滿足其關鍵設備所要求的地面振動水平。

SEM-Base® VI采用獨特串聯結構,振動傳感器測量的是地面振動,不是負載振動。這樣就確保了負載諧振將不會限制平臺的振動隔離或者引起不穩定性。振動傳感器采用低頻慣性速度傳感器,在測量亞Hz振動時具有大的敏感度。加上TMC獨特的壓電致動技術,SEM-Base® VI即使在振動情況已經很好的地面上也可以實現超高水平的振動消除。

相比之前的SEM-Base版本,SEM-Base® VI的振動隔離能力平均來說增加了6dB,而且采用了TMC新一代控制器DC-2020,采用新式雙核處理器,為設備擁有者及研究者提供非常簡單易于使用的圖形用戶界面,可以快速進入系統并實現平和的操作心態。當通過Ethernet連接時,DC-2020在用戶的瀏覽器上即可實現SEM-Base圖形用戶界面,無需額外安裝軟件或者應用程序。當然用戶也可以通過控制器的菜單驅動液晶屏(LCD)直接進行控制。

優勢:

  • 硬式裝載技術

SEM-Base® VI兼容 SEM 內部預裝的任何隔振系統,從0.6Hz開始主動強力消減地面低頻振動。

  • 主動慣性振動消除

SEM-Base® VI采用高靈敏度的低頻慣性速度傳感器,即使在安靜的地面上也可以達到高水平的振動衰減。

  • 串行設計與壓電技術

獨特串行設計加上高強度壓電技術,SEM-Base® VI不但達到了寬至0.6Hz-150Hz的主動帶寬,更實現了的慣性主動振動消除,2Hz以上的振動衰減可達 90%以上。

  • 完全集成式的單平臺設計

SEM-Base® VI設計與制造的集成化,將安裝平臺的工作簡化到了jizhi,簡單的定位與設置之后即可正常工作。

NOTE:可選SEM-Closure,專門設計用于保護SEM的完整環境解決方案。在SEM- Closure密封隔音室內可兼顧放置 SEM-Base® VI與Mag-Net X,保護SEM免除振動、磁場擾動與聲波噪音的影響

特點:

  • STACIS技術
  • 主動慣性振動清除系統
  • 895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)適合絕大多數商業SEM
  • 負載能力:408-1134kg (900-2500 lb.)
  • 隔振效率1Hz:40-70%
  • 隔振效率經2Hi:90%
  • 隔振效率>3Hz:90-98%
  • 6個主動自由度
  • 安裝容易,調試簡單
  • 兼容所有設備內直的振動隔離系統
  • 電源:100-240VAC, 50/60Hz, 600W
  • 是否需要空氣:非氣浮系統
  • CE與RoHS認證
  • 完全集成式的單平臺設計
  • 可安裝腳輪,輕松便攜移動,無需搬運
  • 兼容SEM-lift系統

性能規格:

Active degrees of freedom

6

Active bandwidth

0.6 Hz - 100 Hz

Passive natural frequency

12 Hz nominal

Effective active resonant frequency

0.5 Hz

Isolation at 1 Hz

40% - 70%

Isolation at 2 Hz

90%

Isolation at ≥3 Hz

90-98%

Internal noise

<0.1 nm RMS

Operating load range

Standard capacity: 900 - 2,500 lbs (408 - 1134 kg)
High capacity: 2,500 - 3,200 lbs (1134 - 1452 kg)

Static lift capacity

12,000 lbs (5454 kg)

Magnetic field emitted
at maximum 4 in.(102 mm)
from the platform

0.02 μG broadband RMS

內置控制器規格

Processor

150/75 MHz dual core

Sampling rate

10 kHz

Analog outputs

16 channels

Analog inputs

16 channels

Status light

single LED

Front panel ports

1x serial USB 2.0
1x serial Micro-USB
1x Ethernet RJ-45
2x BNC

User interface

Front panel LCD display
Character menu on HyperTerminal
Extended GUI for Microsoft Windows
Embedded Ethernet GUI

隔離器設計,尺寸,環境和實用要求

Environmental and safety

CE and RoHS compliant

Active isolation elements

high-force piezoelectric actuators that receive signal
from a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDC

Passive isolation element

single stiff elastomer (no compressed air supply required)

Vibration sensor elements

downward facing geophone type inertial sensors
that measure floor vibration below the isolator
and deliver voltage proportional to the velocity of vibration motion

Active feedback control loop

Floor vibration is measured, processed
and attenuated below the spring
supporting the isolated surface

Dimensions (D)

35.25 x 44.25 in.
895 x 1124 mm

Height

6.3 in. (160 mm) nominal,
doesn't change when SEM-Base is switched off

Operating temperature

50° - 90° F
10° - 32° C

Storage temperature

-40° - 130° F
-40° - 55° C

Humidity (operating)

30 - 60%

System power requirements

100, 120, 230, 240 VAC
50/60 Hz AC;
600 W
CE compliant

Floor displacement

800 μin. (20 μm) below 10 Hz

性能曲線:

1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

產品尺寸:

CleanBench 68-500高負載光學實驗桌

對于需要隔離凈重超過350磅(160千克)的隔振實驗桌應用,我們推薦使用我們的高負載的CleanBench 68-500系列實驗桌。 它們與我們的63-500系列工作臺設計類似,具有更高負載的隔離裝置和更厚的不銹鋼頂板。

除高負荷應用外,CleanBench還推薦用于具有異常高重心和有移動平臺的設備的負載。 這些應用程序應該受益于穩定性的提高。

隨著更堅硬,更厚重的臺面,更低的固有頻率的隔離器和更堅硬更重的支腿,高負載的CleanBenches提供的性能明顯優于業內其他被動式工作臺。

參數

隔離器固有頻率

高頻輸入

垂直方向=1.0Hz,水平方向=0.8Hz

低頻輸入

垂直方向=1.2-1.7Hz,水平方向=1.0-1.5Hz

隔離器效率@5HZ

垂直方向=80-90%   水平方向=80-90%

隔離器效率@10Hz

垂直方向=90-99%   水平方向=90-99%

推薦負載能力

545Kg

整體材料

不銹鋼平臺, 黑色氧化處理中等材料框架

空壓機要求

80psi氮氣或空氣

船運重量

454kg

參數尺寸圖

High-Capacity CleanBench Lab Tables with Gimbal Piston Vibration Isolation

Table Size (DxL)

Smooth Top

Tapped Holes
1/4-20 on 1 in. Spacing

Tapped Holes

M6 on 25 mm Spacing 

900 x 1200 mm
35.4 x 47.2 in.

68-9012S

68-9012E

68-9012M

900 x 1500 mm
35.4 x 59.0 in.

68-9015S

68-9015E

68-9015M

Accessories - All Table Sizes

Casters (set of four)

83-013-01

Regular Armrest Pad (two recommended)

81-303-01

Subshelf

81-421-01

Accessories - Size Dependent

Table Size (DxL)

Front Support Bar

Rear Support Bar

900 x 1200 mm
35.4 x 47.2 in.

81-401-12

81-402-12

900 x 1500 mm
35.4 x 59.0 in.

81-401-15

81-402-15

 

Everstill™桌面式主動隔振光學平臺

Everstill™ Active Benchtop Isolator

Everstill™是TMC在先進的地面振動控制方面的新突破。獲得的Everstill K-400是一款臺式主動振動消除平臺??,采用“串行式”有源架構。再加上與速度傳感器相結合,增強了低頻靈敏度,實現了極低水平的低頻振動大幅度衰減。

隨著TMC的STACIS®壓電振動消除技術發展,Everstill是一款臺式主動振動消除平臺,可消除0.7 Hz起始的的振動。專為大低頻性能設計的Everstill擅長于1-10 Hz的范圍,其中精密儀器對1-10 Hz往往是敏感的。

Everstill K-400設計用于將超精密儀器與建筑物地板振動相隔離,隔離的頻率從1Hz開始。是光學顯微鏡,掃描探針顯微鏡SPM和計量儀器的理想選擇。使用Gainmatch™(正在申請),您可以輕松選擇三種增益設置中的一種,以在您的環境中實現佳性能。

便攜式,緊湊型設計非常適合安裝在工作臺和桌子上。wei一的輸入要求是來自標準AC插座的電力。

優勢:  

的低頻性能可以從0.7 Hz的頻率隔離。提供非常顯著的的振動消除,特別是在1-10 Hz的范圍內。

獲得的主動減振技術。非常適合小型輕量級超精密儀器

主動硬式安裝。無需氣泵,牢靠的即插即用設計。

先進的震動傳感技術。采用地音探測速度傳感器達到亞赫茲的低頻性能,其低頻靈敏度要優于加速度計。

結構體系

串聯式主動系統(致動器與隔離彈簧串聯)

震動傳感器

地音探測式速度傳感器(電壓與速度成正比)

調平

自動調平

重復率

+/- 0.02 in (+/- 0.5mm)

尺寸

(W x L x H)16 x 20 x 4 in.

400 x 500 x 100 mm

重量

55 lbs. (25 kg)

負載能力:

50–330 lbs. (23–150 kg)

隔震性能

4–7 dB @ 1.0 Hz

> 20 dB,大于2.5 Hz時

共振頻率

0.6 Hz

主動震動消除帶寬

0.7–100 Hz

被動震動消除帶寬

1000 Hz

供電

90-220V,50/60Hz

頂部基板

黑色陽極電鍍鋁(螺紋孔可選)

Everstill™ Ordering Chart

Catalog No.

Hole Pattern

Dimensions (LxH)

K-400

No Holes

16 x 20 x 3 in.
400 x 500 x 100 mm

K-400E

1/4 - 20 on 1 in. centers

K400M

M6 on 25 mm centers

Accessories Ordering Chart

Catalog No.

Description

Dimensions (LxH)

29-43240-01

46 lb. (21 kg) Load Plate

16 x 20 x 0.5 in.
400 x 500 x 12 mm

29-43245-01

Basepad

16 x 20 x 0.03 in.
400 x 500 x 0.8 mm

1163K-7512S

CleanBench for Everstill K-series

29.5 x 47.25 x 29.5 in.
750 x 1200 x 750 mm

1163K-7590S

CleanBench for Everstill K-series

29.5 x 35.4 x 29.5 in.
750 x 900 x 750 mm

83-501

Multi-Purpose Acoustic Enclosure 

32 x 36 x 64 in.
813 x 914 x 1626 mm

 

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